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集成电路前道和后道工艺
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集成电路前道和后道工艺
集成电路(Integrated Circuit,简称IC)是指在半导体器件上集成多个功能元件,构成电子电路的一种技术。集成电路制造工艺分为前道工艺和后道工艺两大部分。前道工艺指的是将半导体器件的原材料,如硅片、金属、氧化层、掩模层等,经过物理、化学等处理,加工成半导体器件的工艺过程,主要包括硅片制备、金属蒸镀、掩模制备、氧化层制备以及晶体管制备等多个工序。硅片制备是半导体器件制造前道工艺的基础,主
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